-
E-ABR80 ಅನ್‌ಪವರ್ಡ್ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ರೋಟರಿ ಹಂತ
ವಿನ್ಯಾಸ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು•ಉತ್ತಮ-ದರ್ಜೆಯ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆಪ್ರಕ್ರಿಯೆ•ಅಕ್ಷೀಯ-, ರೇಡಿಯಲ್- ಮತ್ತು ಟಿಲ್ಟ್-ದೋಷ ಚಲನೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ವ್ಯಾಪಕವಾದ ನಂತರದ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.ಭಾಗಗಳ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಮಾಪನ ಡೇಟಾ•ಚಲನೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳದೆ ಉದಾರವಾದ ಹೊರೆ-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ• ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್, ಹಗುರವಾದ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ನಿಖರವಾದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆಫಾರ್ಮ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರ್, ಹಾಗೆಯೇ ಸಮತಲ ಮತ್ತು ಲಂಬವಾದ ಆರೋಹಿಸುವಾಗ ಮತ್ತು ಹೊರೆ-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು -
E-ABR100 ಅನ್‌ಪವರ್ಡ್ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ರೋಟರಿ ಹಂತ
● ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● 100 mm ನಿಂದ 300 mm ವರೆಗೆ ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ವ್ಯಾಸ
● ವಿಕೇಂದ್ರೀಯತೆ ಮತ್ತು ಸಮತಲತೆ < 100 nm
● ಲಂಬವಾಗಿ ಅಥವಾ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಜೋಡಿಸಬಹುದು
● ವಿನ್ಯಾಸ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು
● ಉತ್ತಮ-ವರ್ಗದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ನಿಮಗೆ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ
● ಅಕ್ಷೀಯ-, ರೇಡಿಯಲ್- ಮತ್ತು ಟಿಲ್ಟ್-ದೋಷ ಚಲನೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ಮಾಪನ ಡೇಟಾದ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ನಂತರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
-
EAB-B100 ಸರಣಿಯ ರೋಟರಿ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳು
•ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ• ಲಂಬವಾಗಿ ಅಥವಾ ಅಡ್ಡಡ್ಡಲಾಗಿ ಜೋಡಿಸಬಹುದು•ನೇರ-ಡ್ರೈವ್, ರೋಟರಿ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳು•ಅನಲಾಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಜಿಟಲ್ ಸ್ಥಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಉತ್ಪನ್ನದ ಅವಲೋಕನಅತ್ಯುತ್ತಮ-ವರ್ಗದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆಅಕ್ಷೀಯ-, ರೇಡಿಯಲ್- ಮತ್ತು ಟಿಲ್ಟ್-ದೋಷ ಚಲನೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಭಾಗಗಳ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ನಂತರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತುಮಾಪನ ಡೇಟಾಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸ್ಥಾನಿಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವೇಗದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರವಾದ ಚಲನೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುವ ಕಾದಂಬರಿ, ಪ್ರಭಾವ ಬೀರದ ಮೋಟಾರ್ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆಚಲನೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳದೆ ಉದಾರವಾದ ಹೊರೆ-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್, ಹಗುರವಾದ ಫಾರ್ಮ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಸಮತಲ ಮತ್ತು ಕಾರಣದಿಂದ ನಿಖರವಾದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆಲಂಬ ಆರೋಹಿಸುವಾಗ ಮತ್ತು ಲೋಡ್-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು -
E-ABR250 ರೋಟರಿ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳು
ಈ ಸರಣಿಯು ಅತ್ಯಂತ ಕಠಿಣವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸಹ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪೂರೈಸಲು ನಿಖರವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು.ಅದರ ಮಧ್ಯಭಾಗದಲ್ಲಿ ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್-ಮಟ್ಟದ ದೋಷವನ್ನು ನೀಡುವ ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ, ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿದೆಹೆಚ್ಚಿನ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಹೊರೆ-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಚಲನೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ.•ಸರಳ, ನೇರವಾದ ಏಕೀಕರಣ•E-3R-NG ಸುಧಾರಿತ ಬೇರಿಂಗ್ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಅದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಹೊರೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಒಟ್ಟಾರೆ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಸಮಂಜಸವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಒಟ್ಟಾರೆ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು.ಇದು E-3R-NG ಅನ್ನು ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆಬಹು-ಅಕ್ಷದ ಚಲನೆಯ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಟರ್ನ್‌ಕೀ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದು ಘಟಕ ಹಂತವಾಗಿ.E-3R-NG ಹಂತಗಳಾಗಿರಬಹುದುಲಂಬವಾಗಿ ಅಥವಾ ಅಡ್ಡಲಾಗಿ ಆಧಾರಿತವಾದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಅಕ್ಷದೊಂದಿಗೆ ಜೋಡಿಸಲಾಗಿದೆ -
EAB-B250 ಸರಣಿಯ ರೋಟರಿ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳು
•ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ• ಲಂಬವಾಗಿ ಅಥವಾ ಅಡ್ಡಡ್ಡಲಾಗಿ ಜೋಡಿಸಬಹುದು•ನೇರ-ಡ್ರೈವ್, ರೋಟರಿ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳು•ಅನಲಾಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಜಿಟಲ್ ಸ್ಥಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಉತ್ಪನ್ನದ ಅವಲೋಕನಅತ್ಯುತ್ತಮ-ವರ್ಗದ ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಚಲನೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ನಿಮ್ಮ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆಅಕ್ಷೀಯ-, ರೇಡಿಯಲ್- ಮತ್ತು ಟಿಲ್ಟ್-ದೋಷ ಚಲನೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಭಾಗಗಳ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ನಂತರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತುಮಾಪನ ಡೇಟಾಹೆಚ್ಚಿನ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸ್ಥಾನಿಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವೇಗದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರವಾದ ಚಲನೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುವ ಕಾದಂಬರಿ, ಪ್ರಭಾವ ಬೀರದ ಮೋಟಾರ್ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆಚಲನೆಯ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳದೆ ಉದಾರವಾದ ಹೊರೆ-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್, ಹಗುರವಾದ ಫಾರ್ಮ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಸಮತಲ ಮತ್ತು ಕಾರಣದಿಂದ ನಿಖರವಾದ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆಲಂಬ ಆರೋಹಿಸುವಾಗ ಮತ್ತು ಲೋಡ್-ಸಾಗಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳು -
E-ABW400-X ಒಂದು ಆಯಾಮದ ಏರ್ ಫ್ಲೋಟಿಂಗ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್
● ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಲು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ
● ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಗಾತ್ರ 400 mm × 138 mm
● ಪ್ರಯಾಣದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು 200 mm ನಿಂದ 1000 mm
● 5 nm ಗೆ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್
-
E-ABL250-X ಒಂದು ಆಯಾಮದ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರವಾದ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ವೇದಿಕೆ
● ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಲು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ
● ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಗಾತ್ರ 250 mm × 90 mm
● ಪ್ರಯಾಣದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು 100mm ನಿಂದ 600 mm
● ಲೋಡ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ 200 N ಗೆ
● ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ವಿನ್ಯಾಸ
● E-EC-ABL-X
● ಲೋಡ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ತ್ಯಾಗ ಮಾಡದೆಯೇ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳಿಗಿಂತ ಚಿಕ್ಕದಾದ ಅಡ್ಡ-ವಿಭಾಗವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.ದೊಡ್ಡ ಗಾಳಿ-ಬೇರಿಂಗ್ ಮೇಲ್ಮೈಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಬಿಗಿತವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಭಾರವಾದ ಲೋಡಿಂಗ್ಗೆ ಅವಕಾಶ ನೀಡುತ್ತದೆ.ಸ್ವಾಮ್ಯದ ತಯಾರಿಕೆ
● ತಂತ್ರಗಳು ಮೀರದ ಪಿಚ್, ರೋಲ್ ಮತ್ತು ಯವ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹಂತವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ.
-
E-EC-ABL-X ಒಂದು ಆಯಾಮದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ಚಲನೆಯ ಹಂತ
● ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಪೂರ್ವ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲಾದ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್
● 1000 ಮಿಮೀ ಪ್ರಯಾಣದೊಂದಿಗೆ ಲಭ್ಯವಿದೆ
● ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಲೀನಿಯರ್ ಎನ್‌ಕೋಡರ್ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ
● ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಿ
● ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವೇಗದ ಸ್ಥಿರತೆಗಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಸ್ಮೂತ್ ವಿನ್ಯಾಸ
-
E-ABT-XY-360X360 (ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಹಂತ) XY ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಹಂತ
ಸೆರಾಮಿಕ್ ಆವೃತ್ತಿಯು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾವನ್ನು ಗಾಳಿ-ತೇಲುವ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಅಂಶಗಳಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತದೆ.ಗ್ರಾನೈಟ್ ಮತ್ತು ಲೋಹದೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳು ಸಣ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಮತ್ತು ನೇರತೆ, ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಅನುಕೂಲಗಳು.
-
E-EC-ABL-X ಒಂದು ಆಯಾಮದ ಗಾಳಿ ತೇಲುವ ನಿಖರ ರೇಖೀಯ ಹಂತಗಳು
E-EC-ABL-X ಸರಣಿಯ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಪ್ಲಾಟ್‌ಫಾರ್ಮ್ ಕಬ್ಬಿಣದ ಕೋರ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟರ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಗೈಡ್ ರೈಲ್‌ನ ವಿಧಾನವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡಿದೆ, ಇದು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಗೈಡ್ ರೈಲ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ನೇರತೆ ಮತ್ತು ಸಮತಟ್ಟನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಣ್ಣ ಹಂತದ ದೂರ ಅಥವಾ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಸನ್ನಿವೇಶಗಳು.ನಿಖರವಾದ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಡೀಬಗ್ ಮಾಡುವಿಕೆ, ಸ್ಥಾಪನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
● ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ಲೀನಿಯರ್ ಗೈಡ್ ಉತ್ತಮ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ನೇರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ
● ಐರನ್ ಕೋರ್ ಲೀನಿಯರ್ ಮೋಟಾರ್ ಸಾಕಷ್ಟು ಸಿಸ್ಟಂ ಬಿಗಿತ ಮತ್ತು ಡೈನಾಮಿಕ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ
● ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಶಬ್ದದೊಂದಿಗೆ ಶಾಂತ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ
● ಇದು ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಟ್ಟದ ನಿಖರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ
● ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳನ್ನು ಸ್ಕ್ಯಾನ್ ಮಾಡಲು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರವಾದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ
● ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ಗಾತ್ರ 210 mm × 100 mm
● ಪ್ರಯಾಣದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು 200 mm ನಿಂದ 500 mm
● 100nm ಅಥವಾ 1 nm ಗೆ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್
-
E-ART160 ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ರೋಟರಿ ಹಂತ ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ತಿರುಗುವ ಹಂತ
● ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ
● ಚಲನೆಯ ವೇದಿಕೆಯ ವ್ಯಾಸ 180mm ನಿಂದ 300 mm
● ಲೋಡ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ 650N
● ವಿಕೇಂದ್ರೀಯತೆ ಮತ್ತು ಸಮತಲತೆ < 100 nm
● ಲಂಬವಾಗಿ ಅಥವಾ ಅಡ್ಡಡ್ಡಲಾಗಿ ಡೈರೆಕ್ಟ್-ಡ್ರೈವ್, ರೋಟರಿ ಏರ್-ಬೇರಿಂಗ್ ಹಂತಗಳನ್ನು ಜೋಡಿಸಬಹುದು
● ಅನಲಾಗ್ ಮತ್ತು ಡಿಜಿಟಲ್ ಸ್ಥಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ
