ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(ಏರ್ ಬೇರಿಂಗ್ ರೈಲು) |
ಮೋಟಾರ್ ಪ್ರಕಾರ | ಮೂರು-ಹಂತದ ಕಬ್ಬಿಣವಿಲ್ಲದ ಮೋಟಾರ್ | ಧ್ವನಿ ಸುರುಳಿ ಮೋಟಾರ್ + |
ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ | ಡೀಫಾಲ್ಟ್ 100nm ಡಿಜಿಟಲ್ ಪ್ರಮಾಣ | 1vpp ಕೆಳಗೆ 5nm |
ಮೋಟಾರ್ ಥ್ರಸ್ಟ್ | ನಿರಂತರ 60N/ಪೀಕ್ 210N | ನಿರಂತರ 60N/ಪೀಕ್ 210N |
ಕನಿಷ್ಠ ಹಂತದ ಗಾತ್ರ[nm] | 200nm | 100nm |
ಪ್ರಯಾಣ [ಮಿಮೀ] | 200×200 | 10 |
ಪುನರಾವರ್ತನೆ [ಉಮ್] | ± 0.3 | |
ಸ್ಥಾನದ ನಿಖರತೆ [ಉಮ್] | ± 1 | ± 0.5 |
ಚಪ್ಪಟೆತನ [ಉಮ್] | 10um | 5um |
ನೇರತೆ [ಉಮ್] | 1ಉಂ | 1ಉಂ |
ಗರಿಷ್ಠ ವೇಗ [ಮಿಮಿ/ಸೆ] | 500mm/s | 30mm/s |
ಲೋಡ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ [ಕೆಜಿ] | 5kg (ನ್ಯೂಮ್ಯಾಟಿಕ್ ಸ್ಥಿರ ಬಲ ಸಮತೋಲನ ತೂಕದೊಂದಿಗೆ Z ಅಕ್ಷ) |